前言：半導(dǎo)體行業(yè)屬于電子信息產(chǎn)業(yè)，是當(dāng)今世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要引擎之一。自20世紀(jì)50年代晶體管發(fā)明以來(lái)，半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)歷了從鍺時(shí)代到硅時(shí)代的演變，現(xiàn)在已進(jìn)入第三代半導(dǎo)體——寬禁帶半導(dǎo)體時(shí)代。在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展歷程中，無(wú)數(shù)次的技術(shù)革新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)，推動(dòng)著整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈向前發(fā)展。今天我們主要來(lái)了解半導(dǎo)體制造中的超純水設(shè)備性能。

　　我們都知道，從半導(dǎo)體制造的原材料，到器件的制造和封裝，每一個(gè)環(huán)節(jié)都需要精密的技術(shù)和設(shè)備，對(duì)于半導(dǎo)體的制造過(guò)程中的用水要求也是格外嚴(yán)格。半導(dǎo)體生產(chǎn)中的用水純度對(duì)于產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率具有極其重要的影響。超純水設(shè)備作為一種能夠生產(chǎn)超純水的新型設(shè)備，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中。該設(shè)備生產(chǎn)出的超純水電阻率達(dá)到18 MΩ*cm，幾乎不含任何雜質(zhì)、細(xì)菌、病毒等，完全可用作半導(dǎo)體領(lǐng)域。

　　這樣的超純水設(shè)備具有怎么樣的突出性能呢？

　　1.產(chǎn)水穩(wěn)定品質(zhì)高。對(duì)比傳統(tǒng)超純水生產(chǎn)工藝，該設(shè)備多是采用膜技術(shù)，在應(yīng)用反滲透加EDI系統(tǒng)和拋光混床模塊相結(jié)合的工藝來(lái)制取超純水，出水水質(zhì)符合國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn)；

　　2.設(shè)備中應(yīng)用的EDI模塊無(wú)需使用化學(xué)品的再生，運(yùn)行成本低，EDI系統(tǒng)的自動(dòng)化程度很高，連續(xù)工作，出水水質(zhì)好且穩(wěn)定，出水電阻率≥18 MΩ*cm；

　　3.該超純水設(shè)備采用專用的膜元件，在保證系統(tǒng)高回收率的同時(shí)，有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)；

　　4.該超純水設(shè)備具有自動(dòng)化程度高的優(yōu)勢(shì)，在運(yùn)行中如果遇到故障可以立即自停，具有自動(dòng)保護(hù)功能，且能耗低、水利用率高。

　　結(jié)束語(yǔ)：綜上所述，這樣的超純水設(shè)備因其性能優(yōu)勢(shì)突出且占地面積小，可以為企業(yè)節(jié)省大量的空間得到了許多半導(dǎo)體行業(yè)的歡迎。該設(shè)備在電子芯片、集成電路及封裝、光伏發(fā)電、航空航天等領(lǐng)域中也是多有應(yīng)用。

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　　編輯：新奇   技術(shù)：加菲